据天泉新闻于2024年09月15日 13时02分45秒发现
，工信部推广国产氟化氩光刻机热点
，人民网北京9月15日电 (方经纶)据工业和信息化部官网消息
，为促进首台(套)重大技术装备创新发展和推广应用
，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同
，工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称《指导目录》)
，其中在电子专用装备目录下
，“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机
，光源193纳米
，分辨率≤65nm
，套刻≤8nm
。

按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》
，重大技术装备是国之重器
，事关综合国力和国家安全
。中国首台(套)重大技术装备
，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品
，包括整机设备、核心系统和关键零部件等
。

《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》截图
。

网友看法

1、网友钓大鱼了0127
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相当于28nm！继续加油吧

2、网友自由的钢笔qWG
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[赞]搞出来了
，了不起

3、网友阿文海南水果
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虽然是28nm但是够用了[赞][赞]

4、网友蜂流财子
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阿斯麦和老美要哭晕在厕所了[呲牙][呲牙][呲牙][呲牙][呲牙][呲牙][呲牙]

5、网友阿Li0259
：
国产光刻加速[加油加油]

6、网友多才多艺小猫鱼
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支持和点赞这些为国的科学家
，你们是好样的
，科技也是要枪杆子里出底气
，没有自主硬科技
，美西就各种制裁
。

7、网友热心艺术家NW
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再给中国五年时间就能追平阿斯麦[送心]

8、网友梧桐花又开ZY
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光刻机[比心]

9、网友秀山
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[赞][赞][赞]

10、网友热河小马哥1348215
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[赞][赞][赞][鼓掌][鼓掌][鼓掌]

11、网友神秘大根
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头头是道